一种玻璃晶圆平面度检测装置

1.一种玻璃晶圆平面度检测装置，包括机架(1)，其特征在于：所述机架(1)上设置有工作台(11)，所述工作台(11)上设置有放置机构(2)，所述放置机构(2)上方设置有检测机构(3)，
所述放置机构(2)包括放置底座(21)，所述放置底座(21)中部还设置有放置台(22)；
所述检测机构(3)包括检测机架(31)，所述检测机架(31)上端设置有安装板(32)，所述安装板(32)上设置有检测气缸(33)，所述检测气缸(33)下方移动连接有移动板(34)，所述移动板(34)上设置有若干检测探头(35)。
2.根据权利要求1所述的一种玻璃晶圆平面度检测装置，其特征在于：所述放置台(22)中部开设有放置槽(23)，所述放置槽(23)与玻璃晶圆相适应。
3.根据权利要求1所述的一种玻璃晶圆平面度检测装置，其特征在于：所述检测探头(35)位于所述放置台(22)正上方。
4.根据权利要求1所述的一种玻璃晶圆平面度检测装置，其特征在于：所述移动板(34)下端还设置有若干限位块(36)，所述限位块(36)通过螺栓与所述移动板(34)连接固定。
5.根据权利要求4所述的一种玻璃晶圆平面度检测装置，其特征在于：所述限位块(36)下端与所述放置底座(21)相接触，所述限位块(36)下方还设置有橡胶垫。
6.根据权利要求1所述的一种玻璃晶圆平面度检测装置，其特征在于：所述检测探头(35)与所述放置槽(23)不接触。

一种玻璃晶圆平面度检测装置\n技术领域\n[0001] 本实用新型涉及平面度检测领域，尤其涉及到一种玻璃晶圆平面度检测装置。\n背景技术\n[0002] 目前，一般的平面度检测装置，无法对玻璃晶圆进行检测，因为较为脆弱，容易在检测过程中对表面造成擦伤或者是撞伤。因此，我们有必要对这样一种结构进行改善，以克服上述缺陷。\n实用新型内容\n[0003] 本实用新型的目的是提供一种玻璃晶圆平面度检测装置。\n[0004] 本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案实现的：一种玻璃晶圆平面度检测装置，包括机架，所述机架上设置有工作台，所述工作台上设置有放置机构，所述放置机构上方设置有检测机构，\n[0005] 所述放置机构包括放置底座，所述放置底座中部还设置有放置台；\n[0006] 所述检测机构包括检测机架，所述检测机架上端设置有安装板，所述安装板上设置有检测气缸，所述检测气缸下方移动连接有移动板，所述移动板上设置有若干检测探头。\n[0007] 通过采用上述技术方案，将需要检测的玻璃圆晶放入放置机构的放置槽内，然后检测机构的检测气缸带动移动板上的检测探头对待检测的玻璃圆晶进行检测。\n[0008] 本实用新型的进一步设置为：所述放置台中部开设有放置槽，所述放置槽与玻璃晶圆相适应。\n[0009] 通过采用上述技术方案，放置槽的设置是为了能够使得玻璃晶圆能够更加稳定的放置，在检测过程中不会进行移动，使得检测结果更加可信真实。\n[0010] 本实用新型的进一步设置为：所述检测探头位于所述放置台正上方。\n[0011] 本实用新型的进一步设置为：所述移动板下端还设置有若干限位块，所述限位块通过螺栓与所述移动板连接固定。\n[0012] 本实用新型的进一步设置为：所述限位块下端与所述放置底座相接触，所述限位块下方还设置有橡胶垫。\n[0013] 通过采用上述技术方案，限位块的设置保证了检测探头与待检测的玻璃晶圆之间保持有安全的距离，而橡胶垫的设置可以进行缓冲保护玻璃晶圆不会受到伤害。\n[0014] 本实用新型的进一步设置为：所述检测探头与所述放置槽不接触。\n[0015] 综上所述，本实用新型具有以下有益效果：放置槽的设置是为了能够使得玻璃晶圆能够更加稳定的放置，在检测过程中不会进行移动，使得检测结果更加可信真实；限位块的设置保证了检测探头与待检测的玻璃晶圆之间保持有安全的距离，而橡胶垫的设置可以进行缓冲保护玻璃晶圆不会受到伤害。\n附图说明\n[0016] 图1是本实用新型提出的一种玻璃晶圆平面度检测装置的结构示意图。\n[0017] 图2是本实用新型提出的放置机构的结构示意图。\n[0018] 图3是本实用新型提出的检测机构的结构示意图。\n[0019] 图中数字和字母所表示的相应部件名称：\n[0020] 1‑机架；11‑工作台；2‑放置机构；21‑放置底座；22‑放置台；23‑放置槽；3‑检测机构；31‑检测机架；32‑安装板；33‑检测气缸；34‑移动板；35‑检测探头；36‑限位块。\n具体实施方式\n[0021] 为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合图示与具体实施例，进一步阐述本实用新型。\n[0022] 如图1所示，本实用新型提出的一种玻璃晶圆平面度检测装置，包括机架1，所述机架1上设置有工作台11，所述工作台11上设置有放置机构2，所述放置机构2上方设置有检测机构3，\n[0023] 所述放置机构2包括放置底座21，所述放置底座21中部还设置有放置台22；\n[0024] 所述检测机构3包括检测机架31，所述检测机架31上端设置有安装板32，所述安装板32上设置有检测气缸33，所述检测气缸33下方移动连接有移动板34，所述移动板34上设置有若干检测探头35。\n[0025] 本实用新型的进一步设置为：所述放置台22中部开设有放置槽23，所述放置槽23与玻璃晶圆相适应。\n[0026] 本实用新型的进一步设置为：所述检测探头35位于所述放置台22正上方。\n[0027] 本实用新型的进一步设置为：所述移动板34下端还设置有若干限位块36，所述限位块36通过螺栓与所述移动板34连接固定。\n[0028] 本实用新型的进一步设置为：所述限位块36下端与所述放置底座21相接触，所述限位块36下方还设置有橡胶垫。\n[0029] 本实用新型的进一步设置为：所述检测探头35与所述放置槽23不接触。\n[0030] 工作原理：将需要检测的玻璃晶圆放入放置机构的放置槽内，然后检测机构的检测气缸带动移动板上的检测探头对待检测的玻璃晶圆进行检测。\n[0031] 以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。