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一种柔性声表面波器件及制备方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201910504148.1
  • IPC分类号:H03H9/02H03H9/145
  • 申请日期:
    2019-06-12
  • 申请人:
    宁海县浙工大科学技术研究院
著录项信息
专利名称一种柔性声表面波器件及制备方法
申请号CN201910504148.1申请日期2019-06-12
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2019-09-24公开/公告号CN110277976A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H03H9/02IPC分类号H03H9/02;H03H9/145查看分类表>
申请人宁海县浙工大科学技术研究院申请人地址
浙江省宁波市宁海县桃源北路2号科创中*** 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人宁海县浙工大科学技术研究院当前权利人宁海县浙工大科学技术研究院
发明人吴化平;诸骏;刘振东;陈宇丹
代理机构杭州斯可睿专利事务所有限公司代理人王利强
摘要
一种柔性声表面波器件,包括叉指换能器、反射栅、压电层薄膜和柔性衬底,所述压电层薄膜位于柔性衬底上,所述叉指换能器、反射栅位于所述压电层薄膜上。一种柔性声表面波器件的制备方法,包括以下步骤:(1)先配置疏水处理溶液;(2)制备柔性衬底;(3)制备PVDF薄膜;(4)将步骤(3)所制备的PVDF薄膜贴附在步骤(2)所制备的柔性衬底上;(5)在步骤(3)所制备的压电薄膜上沉积金薄膜制备叉指换能器和反射栅。本发明制备方法简单,器件小巧,性能卓越,适应各种使用环境,拥有广泛的应用前景。

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