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液体处理装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200810179579.7
  • IPC分类号:H01L21/00
  • 申请日期:
    2007-04-18
  • 申请人:
    东京毅力科创株式会社
著录项信息
专利名称液体处理装置
申请号CN200810179579.7申请日期2007-04-18
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2009-05-27公开/公告号CN101441991
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/00IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人东京毅力科创株式会社申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东京毅力科创株式会社当前权利人东京毅力科创株式会社
发明人金子聪;松本和久;伊藤规宏;饱本正巳;户岛孝之;难波宏光
代理机构中国专利代理(香港)有限公司代理人温大鹏
摘要
一种液体处理装置,包括基板保持部,水平地保持基板,并能够与基板一同旋转;旋转杯,围绕被基板保持部保持的基板,能够与基板一同旋转;旋转机构,使旋转杯以及基板保持部一体旋转;液体供给机构,至少对基板的表面供给处理液;排气/排液部,从旋转杯向外部进行排气以及排液;和导向部件,按照表面与基板表面近似连续的方式设置于基板的外侧,与基板保持部以及旋转杯一同旋转,使向基板表面供给并从基板甩出的处理液经由其表面从旋转杯向排气/排液部导向。

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