首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据，仅供参考，实际以国家知识产权局展示为准

晶圆洗边方法及晶圆清洗装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201911290951.6
IPC分类号：H01L21/02;H01L21/67
申请日期：
2019-12-16
申请人：
长江存储科技有限责任公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	晶圆洗边方法及晶圆清洗装置
申请号	CN201911290951.6	申请日期	2019-12-16
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-04-03	公开/公告号	CN110957208A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/02 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/02 半导体器件或其部件的制造或处理〔2，8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;0;2;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人	长江存储科技有限责任公司	申请人地址	湖北省武汉市洪山区东湖新技术开发区未来三路88号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	长江存储科技有限责任公司	当前权利人	长江存储科技有限责任公司
发明人	马亮;吕术亮;黄驰;李远;万先进
代理机构	上海盈盛知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	董琳;高翠花

摘要

本发明提供一种晶圆洗边方法及晶圆清洗装置，所述晶圆洗边方法包括：交替沿第一方向及第二方向向所述晶圆的边缘喷洒清洗液，以对所述晶圆进行洗边，其中，所述第一方向与所述第二方向为相反的方向。本发明的优点在于，交替沿第一方向及第二方向向所述晶圆的边缘喷洒清洗液，能够去除边缘残留的金属，避免后续的键合工艺由于金属残留而失败的情况发生。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供