闭环放电激励脉冲重频气体激光器及其运行方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201710363586.1
IPC分类号：H01S3/034;H01S3/036
申请日期：
2017-05-22
申请人：
西北核技术研究所

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著录项信息

专利名称	闭环放电激励脉冲重频气体激光器及其运行方法
申请号	CN201710363586.1	申请日期	2017-05-22
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2017-09-26	公开/公告号	CN107204561A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01S3/034 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01S 利用受激发射的器件 H01S3/00 激光器，即利用受激发射对红外光、可见光或紫外线进行产生、放大、调制、解调或变频的器件（半导体激光器入H01S 5/00） H01S3/02 结构零部件 H01S3/03 气体激光器放电管的〔2〕 H01S3/034 气体激光管内的光学装置或构件，例如窗口、镜片（对谐振腔的初始调节具有可变性能或位置的反射镜入H01S 3/086）〔5〕	IPC分类号	H;0;1;S;3;/;0;3;4;;;H;0;1;S;3;/;0;3;6查看分类表>
申请人	西北核技术研究所	申请人地址	陕西省西安市灞桥区平峪路28号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	西北核技术研究所	当前权利人	西北核技术研究所
发明人	黄超;黄珂;安晓霞;马连英;李高鹏;雷飞
代理机构	西安智邦专利商标代理有限公司	代理人	汪海艳

摘要

本发明公开了一种基于静电除尘原理的带有自清洁光窗的闭环放电激励脉冲重频气体激光器及其运行方法，激光器包括激光器主体、脉冲放电泵浦源、谐振腔、自清洁光窗、气体循环装置、气体供给单元和真空单元；自清洁光窗由光窗清洁器和窗口构成；光窗清洁器包括消能箱、气管和气体过滤器。气体过滤器基于静电除尘原理，包括方形外腔、进气口、多层金属网、静电除尘电离区、静电除尘收集区、灰斗、末端滤网、出气口和高压直流电源。激光器运行时，从气体循环装置中风机出口处引出一定流量的工作气体，该气流在气体过滤器中经静电除尘和两级过滤除去前一个脉冲放电产生的大量微粒，转变成清洁的工作气体，并送至激光器光窗，实现激光器光窗实时自清洁。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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