加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

用于倾斜装置设计的计量目标设计

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202011278298.4
  • IPC分类号:G03F7/20;G01J9/00;H01L21/66
  • 申请日期:
    2016-04-19
  • 申请人:
    科磊股份有限公司
著录项信息
专利名称用于倾斜装置设计的计量目标设计
申请号CN202011278298.4申请日期2016-04-19
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-03-12公开/公告号CN112485971A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0;;;G;0;1;J;9;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;6;6查看分类表>
申请人科磊股份有限公司申请人地址
美国加利福尼亚州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人科磊股份有限公司当前权利人科磊股份有限公司
发明人李明俊;M·D·史密斯;M·E·阿德尔;E·阿米特;D·坎戴尔
代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司代理人暂无
摘要
本申请涉及用于倾斜装置设计的计量目标设计。本发明提供用于测量倾斜装置设计的计量方法、模块及目标。所述方法相对于目标候选者与装置设计之间的图案放置误差PPE的泽尼克(Zernike)灵敏度的关系分析并优化目标设计。蒙特卡罗(Monte Carlo)方法可经应用以增强所述选定目标候选者对透镜像差中及/或装置设计中的变化的稳健性。此外,考虑相对于所述泽尼克灵敏度审慎地修改目标参数以改进计量测量质量且减小不精确性。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供