基于MEMS工艺的二维磁驱动扫描微镜及其制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201810876787.6
IPC分类号：B81B3/00;B81C1/00
申请日期：
2018-08-03
申请人：
南京理工大学

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著录项信息

专利名称	基于MEMS工艺的二维磁驱动扫描微镜及其制备方法
申请号	CN201810876787.6	申请日期	2018-08-03
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-01-08	公开/公告号	CN109160481A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B81B3/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B8 微观结构技术；纳米技术 B81 微观结构技术〔7〕 B81B 微观结构的装置或系统，例如微观机械装置（压电元件、电致伸缩元件或磁致伸缩元件本身入H01L41/00）〔7〕 B81B3/00 由柔性或可变形的元件组成的装置，例如由弹性舌或膜片组成（B81B 5/00优先）〔7〕	IPC分类号	B;8;1;B;3;/;0;0;;;B;8;1;C;1;/;0;0查看分类表>
申请人	南京理工大学	申请人地址	江苏省南京市孝陵卫200号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	南京理工大学	当前权利人	南京理工大学
发明人	姜波;彭明迪;苏岩;朱欣华
代理机构	南京理工大学专利中心	代理人	唐代盛

摘要

本发明公开了一种基于MEMS工艺的二维磁驱动扫描微镜及其制备方法，制备方法首先在硅基底上制备第一压阻传感器和第二压阻传感器；在硅基底上刻蚀出线圈槽、线圈引线槽；制备线圈、线圈引线；形成氧化绝缘层，为线圈导线、金属连接线互连搭建绝缘层；在线圈引线末端制备金属电极、在硅基底上制备金属镜面层以及在氧化绝缘层上制备金属连接线；制备第一悬臂梁、第二悬臂梁、镜面基底、框架；制备的微镜的包括深沟道的环形线圈、双轴悬臂梁、镜面与框架、引线互连及引线绝缘层结构；与传统技术相比，本发明的基于MEMS技术的扫描微镜具有体积小、偏转频率高、视场角度大、成本低的特点，具有嵌入式装配的可能。

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