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复合等离子体表面处理装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200410044011.6
  • IPC分类号:C23C28/00
  • 申请日期:
    2004-11-05
  • 申请人:
    哈尔滨工业大学
著录项信息
专利名称复合等离子体表面处理装置
申请号CN200410044011.6申请日期2004-11-05
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2005-04-06公开/公告号CN1603466
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C28/00IPC分类号C;2;3;C;2;8;/;0;0查看分类表>
申请人哈尔滨工业大学申请人地址
黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人哈尔滨工业大学当前权利人哈尔滨工业大学
发明人田修波;崔江涛;杨士勤
代理机构哈尔滨市松花江专利商标事务所代理人岳泉清
摘要
复合等离子体表面处理装置。本发明涉及一种工件表面处理装置。扩散泵(2)通过管道(4)与真空室(1-2)和旋片泵(3)相连接,真空室1-2的上盖1-3与二级真空室(6-1)相连接,真空室(1-2)的侧壁上设有观察窗(1-6),真空室(1-2)的侧壁上装有磁控溅射靶(1-4)、真空阴极弧(1-5),真空室(1-2)内腔装有射频天线(1-7)和样品台(1-10),样品台(1-10)与中心电极(10-1)相连接,中心电极(10-1)与真空室(1-2)的底座之间装有绝缘套(1-13),绝缘套(1-13)与中心电极(10-1)之间装有密封件(1-14),中心电极(10-1)上的电刷(10-2)与高压电缆(9-1)相连接。本装置通过产生多种粒子使工件表面获得较厚的膜层和膜层多样化。本装置用于工件表面复合等离子体处理上。

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