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非接触形状测定装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202011327103.0
  • IPC分类号:G01B11/24
  • 申请日期:
    2020-11-24
  • 申请人:
    三鹰光器株式会社
著录项信息
专利名称非接触形状测定装置
申请号CN202011327103.0申请日期2020-11-24
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日2021-06-01公开/公告号CN112880585A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01B11/24IPC分类号G;0;1;B;1;1;/;2;4查看分类表>
申请人三鹰光器株式会社申请人地址
日本国东京都三鹰市野崎1丁目18番8号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人三鹰光器株式会社当前权利人三鹰光器株式会社
发明人三浦胜弘
代理机构上海华诚知识产权代理有限公司代理人刘煜
摘要
本发明涉及非接触形状测定装置。由于激光探针机构(11)的光轴(K)相对于X轴倾斜,所以能够将激光(L)照射到内径小的保持孔(2)内来测定其内表面形状。由于不使用插入到保持孔(2)内的反射镜,所以还能够测定数mm以下的小的内径。通过向Z方向扫描测定工件或者使测定工件向θ方向旋转,还能够测定保持孔(2)的圆度、直径或者剖面轮廓、三维形状。

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