阵列基板及其制造方法、显示面板和显示装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201810847611.8
IPC分类号：H01L27/12;H01L21/77;G06F3/041
申请日期：
2018-07-27
申请人：
上海中航光电子有限公司

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著录项信息

专利名称	阵列基板及其制造方法、显示面板和显示装置
申请号	CN201810847611.8	申请日期	2018-07-27
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2018-12-14	公开/公告号	CN109003990A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L27/12 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L27/00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件（其零部件入H01L 23/00，H01L 29/00至H01L 51/00；由多个单个固态器件组成的组装件入H01L 25/00）〔2，8〕 H01L27/02 包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的〔2〕 H01L27/12 其衬底为非半导体的，例如为绝缘体的〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;7;/;1;2;;;H;0;1;L;2;1;/;7;7;;;G;0;6;F;3;/;0;4;1查看分类表>
申请人	上海中航光电子有限公司	申请人地址	上海市闵行区华宁路3388号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海中航光电子有限公司	当前权利人	上海中航光电子有限公司
发明人	谭莉;李小虎;王听海;姜炜
代理机构	北京晟睿智杰知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	于淼

摘要

本发明公开了一种阵列基板及其制造方法、显示面板和显示装置，包括：提供一基板；图案化形成第一栅极金属和第二栅极金属；形成栅极绝缘层；图案化有源层和欧姆接触层形成第一有源层和第二有源层、第一欧姆接触层和第二欧姆接触层；图案化第一透明导电层形成像素电极和保护层；形成第二金属层；图案化第二金属层形成第一源极金属、第一漏极金属、第二源极金属和第二漏极金属；图案化第二欧姆接触层，暴露出第二有源层；图案化第二绝缘层形成第一过孔和第一镂空部；图案化第二透明导电层至少形成公共电极、和连接端，同时图案化保护层。压力传感器和开关组件可以同时使用非晶硅工艺制造，压力传感器中保留第一欧姆接触层。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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