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一种卡夹校正装置和卡夹校正设备

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202010175611.5
  • IPC分类号:B65G47/24;B65G43/00
  • 申请日期:
    2020-03-13
  • 申请人:
    北京七星华创集成电路装备有限公司
著录项信息
专利名称一种卡夹校正装置和卡夹校正设备
申请号CN202010175611.5申请日期2020-03-13
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2020-07-03公开/公告号CN111361967A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B65G47/24IPC分类号B;6;5;G;4;7;/;2;4;;;B;6;5;G;4;3;/;0;0查看分类表>
申请人北京七星华创集成电路装备有限公司申请人地址
北京市顺义区天竺综合保税区竺园三街6号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京七星华创集成电路装备有限公司当前权利人北京七星华创集成电路装备有限公司
发明人潘忠怀;常江
代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司代理人彭瑞欣;魏艳新
摘要
本发明提供了一种卡夹校正装置,其中,包括:校正机构和检测机构;所述检测机构包括检测触片和检测传感器;所述校正机构和所述检测传感器均设置在一承载台上,所述校正机构包括驱动部和与所述驱动部连接的推动部;所述推动部用于在所述驱动部的驱动下推动所述承载台上的卡夹,以校正所述卡夹的位置;所述检测触片可拆卸地设置在所述推动部上,用于在所述卡夹的位置被校正后触发所述检测传感器,所述检测传感器用于在被所述检测触片触发后输出校正完成信号。本发明还提供一种卡夹校正设备。本发明可以使检测机构在卡夹具有较大尺寸误差时依然可以输出校正完成信号,提高校正检测的正确率。

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