共焦测量装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201811055176.1
IPC分类号：G01B11/00
申请日期：
2018-09-11
申请人：
欧姆龙株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	共焦测量装置
申请号	CN201811055176.1	申请日期	2018-09-11
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-04-09	公开/公告号	CN109596045A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;0查看分类表>
申请人	欧姆龙株式会社	申请人地址	日本京都府京都市下京区盐小路通堀川东入南不动堂町801番地(邮编变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	欧姆龙株式会社	当前权利人	欧姆龙株式会社
发明人	森野久康;髙嶋润;奥田贵启;的场贤一;滝政宏章
代理机构	北京同立钧成知识产权代理有限公司	代理人	杨贝贝;臧建明

摘要

本发明提供一种测量对象物的位置的检测精度经提高的共焦测量装置。共焦测量装置具备：输出白色光的光源、光耦合器、将产生了色差的光照射到测量对象物的传感头、以及取得经测量对象物反射的反射光并测量反射光的光谱的分光器，光耦合器为使从第一光纤向第二光纤传输光时的第一传输波形、与从第二光纤向第三光纤传输光时的第二传输波形接近的滤波器型耦合器或空间光学系统型耦合器。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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