TFT阵列检查装置及同步方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200780101051.1
IPC分类号：G01R31/00;G02F1/13;G02F1/1368
申请日期：
2007-10-18
申请人：
株式会社岛津制作所

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	TFT阵列检查装置及同步方法
申请号	CN200780101051.1	申请日期	2007-10-18
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2010-09-01	公开/公告号	CN101821637A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R31/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R31/00 电性能的测试装置；电故障的探测装置；以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置（在制造过程中测试或测量半导体或固体器件入H01L 21/66；线路传输系统的测试入H04B 3/46）	IPC分类号	G;0;1;R;3;1;/;0;0;;;G;0;2;F;1;/;1;3;;;G;0;2;F;1;/;1;3;6;8查看分类表>
申请人	株式会社岛津制作所	申请人地址	日本京都府变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社岛津制作所	当前权利人	株式会社岛津制作所
发明人	山下光夫
代理机构	北京中原华和知识产权代理有限责任公司	代理人	寿宁

摘要

一种TFT阵列检查装置，包括：平台驱动电路，驱动基板平台；TFT驱动电路，生成驱动TFT阵列的驱动信号；扫描控制电路，控制电子枪的扫描；以及测定电路，根据通过电子束照射而从所述面板获取的检测信号来检查TFT阵列基板。通过形成与驱动信号同步的第1同步信号，来使驱动信号与电子束扫描信号之间在时间上同步，通过形成与电子束扫描信号同步的第1同步信号，来使电子束扫描信号与测定信号之间在时间上同步，由此，使驱动信号、电子束扫描信号、以及测定信号在时间上同步。还根据基板平台的位置而形成驱动信号，由此以基板平台的位置为基准而使各信号在时间上同步。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供