场效应晶体管

发明专利有效专利

申请号：
CN201910332289.X
IPC分类号：H01L29/78;H01L23/482;H01L23/522;H01L23/528;H01L23/532;H01L23/535;H01L29/06;H01L29/417;H01L29/423;H01L21/336
申请日期：
2015-03-25
申请人：
索尼公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	场效应晶体管
申请号	CN201910332289.X	申请日期	2015-03-25
法律状态	实质审查	申报国家	暂无
公开/公告日	2019-09-17	公开/公告号	CN110246898A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L29/78 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L29/00 专门适用于整流、放大、振荡或切换，并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的半导体器件；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒，例如PN结耗尽层或载流子集结层的电容器或电阻器；半导体本体或其电极的零部件（H01L 31/00至H01L 47/00，H01L 51/05优先；除半导体或其电极之外的零部件入H01L 23/00；由在一个共用衬底内或其上形成的多个固态组件组成的器件入H01L 27/00）〔2，6〕 H01L29/66 按半导体器件的类型区分的〔2〕 H01L29/68 只能通过对一个不通有待整流、放大或切换的电流的电极供给电流或施加电位方可进行控制的（H01L 29/96优先）〔2〕 H01L29/76 单极器件〔2〕 H01L29/772 场效应晶体管〔6〕 H01L29/78 由绝缘栅产生场效应的〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;9;/;7;8;;;H;0;1;L;2;3;/;4;8;2;;;H;0;1;L;2;3;/;5;2;2;;;H;0;1;L;2;3;/;5;2;8;;;H;0;1;L;2;3;/;5;3;2;;;H;0;1;L;2;3;/;5;3;5;;;H;0;1;L;2;9;/;0;6;;;H;0;1;L;2;9;/;4;1;7;;;H;0;1;L;2;9;/;4;2;3;;;H;0;1;L;2;1;/;3;3;6查看分类表>
申请人	索尼公司	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	索尼公司	当前权利人	索尼公司
发明人	坂直树;冈元大作;田中秀树
代理机构	北京信慧永光知识产权代理有限责任公司	代理人	陈睆;曹正建

摘要

本发明提供了一种场效应晶体管，包括：栅极电极；半导体层，具有把栅极电极夹在中间的源极区域和漏极区域；接触插塞，包括第一导电材料，其中第一接触插塞被设置在源极区域上且第二接触插塞被设置在漏极区域上；第一金属部，包括第二导电材料，其中第一金属部的第一者被堆叠在第一接触插塞上且第一金属部的第二者被堆叠在第二接触插塞上；至少一层绝缘膜，在半导体层的面内方向上被设置在接触插塞之间且在堆叠方向上被设置在第一金属部的底面下方；以及低介电常数区域，被设置在位于栅极电极的顶面的一部分的上方且在半导体层的面内方向上位于接触插塞之间的区域中，且在堆叠方向上至少被设置在位于第一金属部的底面下方的第一区域中。

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