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一种RIE制绒的晶体硅太阳能电池

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201520355805.8
IPC分类号：H01L31/0236
申请日期：
2015-05-28
申请人：
苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种RIE制绒的晶体硅太阳能电池
申请号	CN201520355805.8	申请日期	2015-05-28
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L31/0236 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L31/00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或设备；其零部件（H01L 51/42优先；由形成在一共用衬底内或其上的多个固态组件，而不是辐射敏感元件与一个或多个电光源的结合所组成的器件入H01L 27/00）〔2，6，8〕 H01L31/02 零部件〔2〕 H01L31/0236 特殊表面结构〔5〕	IPC分类号	H;0;1;L;3;1;/;0;2;3;6查看分类表>
申请人	苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司	申请人地址	江苏省苏州市高新区鹿山路199号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州阿特斯阳光电力科技有限公司,阜宁阿特斯阳光电力科技有限公司	当前权利人	苏州阿特斯阳光电力科技有限公司,阜宁阿特斯阳光电力科技有限公司
发明人	龙维绪;王栩生;邢国强
代理机构	苏州翔远专利代理事务所（普通合伙）	代理人	陆金星

摘要

本实用新型公开了一种RIE制绒的晶体硅太阳能电池，包括硅衬底、以及设于硅衬底上的绒面层；所述绒面层为亚微米绒面；所述绒面层上依次设有第一SiNx膜层、第二SiNx膜层、第三SiNx膜层和第四SiNx膜层。本实用新型在亚微米级的RIE绒面层上设置四层SiNx膜层结构，可以使最小波长红移，有利于组件光学上的增益，从而可以获得更高的组件电流和组件CTM。

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