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一种适用于PERC电池双面管式PECVD镀膜的石墨舟

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201620785817.9
  • IPC分类号:C23C16/458;H01L21/673
  • 申请日期:
    2016-07-25
  • 申请人:
    苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司
著录项信息
专利名称一种适用于PERC电池双面管式PECVD镀膜的石墨舟
申请号CN201620785817.9申请日期2016-07-25
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/458IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;5;8;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;3查看分类表>
申请人苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司申请人地址
江苏省苏州市高新区鹿山路199号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人苏州阿特斯阳光电力科技有限公司,盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司当前权利人苏州阿特斯阳光电力科技有限公司,盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司
发明人俞亚东;党继东
代理机构苏州翔远专利代理事务所(普通合伙)代理人陆金星
摘要
一种适用于PERC电池双面管式PECVD镀膜的石墨舟,包括若干石墨舟片,各石墨舟片在其厚度方向上间隔设置;所述石墨舟片的表面为平坦结构。本实用新型改变目前的镂空结构,从而避免外观不良的产生,以实现双面管式PECVD镀膜的PERC电池的量产,提高正面减反射,背面增反射效果和钝化效果,提高PERC的转换效率;本实用新型的石墨舟片表面为平坦结构,等离子分布更均匀,提高了正面氮化硅膜均匀性。

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