一种自蔓延法高温高压氮化硅粉体制备装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202020974831.X
IPC分类号：F27B3/02;F27B3/10;F27B3/18;F27B3/20;F27B3/22;F27B3/24;F27B3/28;F27D17/00;C04B35/584;C04B35/64
申请日期：
2020-05-31
申请人：
上海韵申新能源科技有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种自蔓延法高温高压氮化硅粉体制备装置
申请号	CN202020974831.X	申请日期	2020-05-31
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F27B3/02 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F2 照明；加热 F27 炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉〔4〕 F27B 一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉；开式烧结设备或类似设备（燃烧设备入F23；电加热入H05B） F27B3/00 床式炉，例如反射炉（F27B 9/00至F27B 15/00，F27B 21/00优先）；电弧炉〔4〕 F27B3/02 单室固定床式炉	IPC分类号	F;2;7;B;3;/;0;2;;;F;2;7;B;3;/;1;0;;;F;2;7;B;3;/;1;8;;;F;2;7;B;3;/;2;0;;;F;2;7;B;3;/;2;2;;;F;2;7;B;3;/;2;4;;;F;2;7;B;3;/;2;8;;;F;2;7;D;1;7;/;0;0;;;C;0;4;B;3;5;/;5;8;4;;;C;0;4;B;3;5;/;6;4查看分类表>
申请人	上海韵申新能源科技有限公司	申请人地址	上海市松江区漕河泾开发区松江高科技园莘砖公路258号39幢402室-1 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海韵申新能源科技有限公司	当前权利人	上海韵申新能源科技有限公司
发明人	张华芹;程佳彪
代理机构	上海愉腾专利代理事务所（普通合伙）	代理人	谢小军

摘要

本实用新型公开了一种自蔓延法高温高压氮化硅粉体制备装置，所述氮化硅粉体制备装置包括内部设有反应空间的炉体、料车、进料系统、自蔓延反应点火系统、真空系统、气路系统、冷却系统和自动控制系统；可以提供可控批量化的大型氮化硅的自蔓延法制备，得到纯度较高的氮化硅。利用自蔓延法的特点，点火加热，利用放热反应进行反应，节约能源。通过设置传动系统，炉门采用(左或右)开门方式，自动开合结构，自动化程度高。

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