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一种亚波长反射式一维金属波片的制备方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201710572342.4
  • IPC分类号:G02B5/30
  • 申请日期:
    2015-05-29
  • 申请人:
    苏州大学
著录项信息
专利名称一种亚波长反射式一维金属波片的制备方法
申请号CN201710572342.4申请日期2015-05-29
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2017-09-26公开/公告号CN107203018A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02B5/30IPC分类号G;0;2;B;5;/;3;0查看分类表>
申请人苏州大学申请人地址
江苏省苏州市相城区济学路8号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人苏州大学当前权利人苏州大学
发明人王钦华;胡敬佩;李瑞彬;赵效楠;王淼;陈玲华;许富洋;曹冰
代理机构苏州创元专利商标事务所有限公司代理人陶海锋;孙周强
摘要
本发明提供了一种亚波长反射式一维金属波片的制备方法,其能够在不同度的波段实现二分之一和四分之一波片的功能,所述波片包括介质光栅和设置在其上的金属层;纳米介质光栅结构设置上一层类光栅金属层,介质光栅的周期为80~350nm,占空比为0.3~0.8,厚度为50~200nm,金属层的厚度比介质光栅厚度30nm以上(层间距大于30nm)。介质层的材料可为SiO2、MgF2、PMMA,金属层为金、银、铝、镉等反射率高的材料。本发明具有结构简单,易于制作等优点,在以后的光学传感系统、先进的纳米光子器件以及集成光学系统中,具有很大的应用价值。

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