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冷热冲击测试装置及测试方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202010116819.X
  • IPC分类号:G01N3/60;G01N3/02
  • 申请日期:
    2020-02-25
  • 申请人:
    芯恩(青岛)集成电路有限公司
著录项信息
专利名称冷热冲击测试装置及测试方法
申请号CN202010116819.X申请日期2020-02-25
法律状态实质审查申报国家暂无
公开/公告日2021-09-10公开/公告号CN113376048A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N3/60IPC分类号G;0;1;N;3;/;6;0;;;G;0;1;N;3;/;0;2查看分类表>
申请人芯恩(青岛)集成电路有限公司申请人地址
山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人芯恩(青岛)集成电路有限公司当前权利人芯恩(青岛)集成电路有限公司
发明人张汝京;蒋小金;孙明圣
代理机构上海光华专利事务所(普通合伙)代理人余明伟
摘要
本发明提供一种冷热冲击测试装置及方法。该装置包括腔体、真空泵及驱动单元;真空泵与腔体相连通,用于使腔体在工作过程中保持真空;腔体包括冷冲击室、热冲击室及样品承载室,冷冲击室和热冲击室位于样品承载室的两侧;样品承载室内设置有用于承载测试样品的样品承载盘,驱动单元与样品承载盘相连接,用于驱动样品承载盘,以将测试样品送至冷冲击室和/或热冲击室进行冲击测试。采用本发明的冷热冲击测试装置可在真空环境下进行冷热冲击测试,有助于降低功率损耗,提高测试效率及设备产出率,降低生产成本。依本发明的冷热冲击测试装置进行的冷热冲击测试方法操作简单,有助于提高测试精度及效率。

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