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一种用于夹持半导体器件的夹具

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201620933865.8
  • IPC分类号:B25B11/00
  • 申请日期:
    2016-08-24
  • 申请人:
    中国工程物理研究院激光聚变研究中心
著录项信息
专利名称一种用于夹持半导体器件的夹具
申请号CN201620933865.8申请日期2016-08-24
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B25B11/00IPC分类号B;2;5;B;1;1;/;0;0查看分类表>
申请人中国工程物理研究院激光聚变研究中心申请人地址
四川省绵阳市游仙区绵山路64号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国工程物理研究院激光聚变研究中心当前权利人中国工程物理研究院激光聚变研究中心
发明人湛治强;沈昌乐;王雪敏;蒋涛;邓青华;彭丽萍;阎大伟;王新明;黎维华;赵妍;肖婷婷
代理机构北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)代理人吴开磊
摘要
本实用新型涉及一种用于夹持半导体器件的夹具,属于半导体光学电子技术领域,包括基座、支撑件、夹持件、拉杆、挡板及弹性件;支撑件固定设置于基座且设置有用于放置样品的工作端面,工作端面相对于基座的端面倾斜,工作端面设置有用于支撑样品的限位台;夹持件包括连接板和侧板,连接板与侧板连接,侧板与支撑件连接;连接板开设有第一定位孔,拉杆穿设于第一定位孔,拉杆的一端与挡板固定连接,弹性件套设于拉杆且抵接于连接板和挡板之间,挡板与支撑件之间形成用于夹持样品的夹持区。本实施例提供的夹具,结构简单,便于样品装夹,能够保证样品非高反膜生长面上不生长高反膜,样品合格率高。

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