平板显示器及其制造方法

发明专利有效专利

申请号：
CN02105822.9
IPC分类号：--
申请日期：
2002-04-11
申请人：
三星SDI株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	平板显示器及其制造方法
申请号	CN02105822.9	申请日期	2002-04-11
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2002-11-27	公开/公告号	CN1381898
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	三星SDI株式会社	申请人地址	韩国京畿道变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	三星显示有限公司	当前权利人	三星显示有限公司
发明人	金昌树;李相沅
代理机构	北京市柳沈律师事务所	代理人	李晓舒;魏晓刚

摘要

一种平板显示器及其制造方法。显示器至少包括第一至第四薄膜晶体管。方法包括：提供具有非显示区和显示区的衬底；在衬底上形成第一至第四薄膜晶体管的第一至第四半导体层；在衬底整个表面上形成栅极绝缘层；在栅极绝缘层上形成第一至第四导电构图和像素电极；形成第一至第四栅电极和第五导电构图；在第一、三和四半导体层内离子注入第一导电类型的高密度杂质，形成第一导电类型的高密度源极和漏极区；将第一至第四栅电极用作蚀刻掩模蚀刻第一至第四导电构图；形成光致抗蚀剂构图以暴露非显示区与第二半导体层对应的部分；第二半导体层内离子注入第二导电类型的高密度杂质以形成第二导电类型的高密度源极和漏极区。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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