微机电光学开关及其制造方法

发明专利无效专利

申请号：
CN00811629.6
IPC分类号：--
申请日期：
2000-08-01
申请人：
ADC电信股份公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	微机电光学开关及其制造方法
申请号	CN00811629.6	申请日期	2000-08-01
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2002-09-18	公开/公告号	CN1370284
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	ADC电信股份公司	申请人地址	美国明尼苏达州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	ADC电信股份公司	当前权利人	ADC电信股份公司
发明人	N·张
代理机构	上海专利商标事务所有限公司	代理人	沈昭坤

摘要

提供了具有改善特性的一种基于MEMS的光学开关(100)，以及用于制造该光学开关的方法。根据一个实施例，光学开关包括具有偏移梁结构(124)的单梳(122)驱动致动器(104)和与致动器耦合的镜(102)。镜能在插入在所述波导通道(106)间的伸展位置和远离所述波导通道的收缩位置之间移动。致动器施加力就能将梁结构偏移并将镜向伸展位置或收缩位置之一移动，并且在不施加力时，梁结构将镜返回到伸展位置或收缩位置中的另一位置。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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