一种热炉降温结构

发明专利有效专利

申请号：
CN202011410605.X
IPC分类号：F27B17/00;F27D9/00
申请日期：
2020-12-04
申请人：
深圳市拉普拉斯能源技术有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种热炉降温结构
申请号	CN202011410605.X	申请日期	2020-12-04
法律状态	实质审查	申报国家	暂无
公开/公告日	2021-04-16	公开/公告号	CN112665388A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F27B17/00 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F2 照明；加热 F27 炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉〔4〕 F27B 一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉；开式烧结设备或类似设备（燃烧设备入F23；电加热入H05B） F27B17/00 不包含在F27B 1/00至F27B 15/00中任一组的炉（炉子的结构组合入F27B 19/02）	IPC分类号	F;2;7;B;1;7;/;0;0;;;F;2;7;D;9;/;0;0查看分类表>
申请人	深圳市拉普拉斯能源技术有限公司	申请人地址	广东省深圳市坪山区坑梓街道吉康路1号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳市拉普拉斯能源技术有限公司	当前权利人	深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
发明人	刘群;郭永胜;庞爱锁;林佳继;张武;林依婷
代理机构	杭州天昊专利代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	董世博

摘要

本发明公开了一种热炉降温结构,包括石英管和防护隔层，防护隔层与石英管外壁形成防护夹层，防护夹层连通有导入管和导出管，导入管、防护夹层以及导出管形成冷却通道，导入管和导出管控制冷却介质的导入和导出，冷却介质在冷却通道的流通降低硅片的温度，本发明将硅片热量辐射传导防护夹层并通过冷却介质传到炉体，相比于自然冷却方式，冷却速度提升5‑10倍，提高冷却速度，本发明将导入管、防护夹层以及导出管形成冷却通道，避免压缩空气对炉膛和电炉丝直吹，提高了使用寿命。

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该专利没有引用任何外部专利数据！

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