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用于集成电路的互连结构及其形成方法

发明专利无效专利

申请号：
CN95196649.9
IPC分类号：--
申请日期：
1995-07-14
申请人：
英特尔公司

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	用于集成电路的互连结构及其形成方法
申请号	CN95196649.9	申请日期	1995-07-14
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	1997-12-24	公开/公告号	CN1168739
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	英特尔公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	英特尔公司	当前权利人	英特尔公司
发明人	A·M·迈尔斯;P·K·查维特;T·A·莱特森;杨事宁;P·白
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	邹光新;萧掬昌

摘要

一种防止通路分层的高性能和高可靠度的新型互连结构。本发明的互连结构包括伸进并底割下层互连线(202)、将连接通路(212)固定在互连线(202)中的连接通路(212)。

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