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一种增大比表面积的氮掺杂二氧化钛薄膜的制备方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201611188587.9
  • IPC分类号:B01J27/24;B01J35/10;B01J37/34
  • 申请日期:
    2016-12-21
  • 申请人:
    蚌埠玻璃工业设计研究院;中国建材国际工程集团有限公司
著录项信息
专利名称一种增大比表面积的氮掺杂二氧化钛薄膜的制备方法
申请号CN201611188587.9申请日期2016-12-21
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2017-04-26公开/公告号CN106582764A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B01J27/24IPC分类号B;0;1;J;2;7;/;2;4;;;B;0;1;J;3;5;/;1;0;;;B;0;1;J;3;7;/;3;4查看分类表>
申请人蚌埠玻璃工业设计研究院;中国建材国际工程集团有限公司申请人地址
安徽省蚌埠市禹会区涂山路1047号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人蚌埠玻璃工业设计研究院,中国建材国际工程集团有限公司当前权利人蚌埠玻璃工业设计研究院,中国建材国际工程集团有限公司
发明人彭寿;马立云;杨勇;姚婷婷;金克武;李刚;沈洪雪;王天齐;甘治平;徐根保
代理机构安徽省蚌埠博源专利商标事务所代理人杨晋弘
摘要
一种增大比表面积的氮掺杂二氧化钛薄膜的制备方法,包括如下步骤:(1)采用氢氟酸和TMAH混合后的复合溶液对玻璃基片进行喷淋(2)清洗玻璃基片,后用高压N2吹干;(3)采用磁控溅射技术在所述玻璃基片表面微结构上沉积氮掺杂二氧化钛薄膜,从而得到具有更大比表面积的氮掺杂二氧化钛薄膜。本发明采用氢氟酸和TMAH混合后的复合溶液对玻璃基片表面进行喷淋处理,获得微结构的玻璃基片,然后在玻璃基片上以磁控溅射技术沉积氮掺杂二氧化钛薄膜,从而得到具有更大比表面积的薄膜,提高了薄膜光催化的效率。

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