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锍盐、抗蚀剂组合物和图案化方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201710888351.4
IPC分类号：G03F7/039;G03F7/038;G03F7/004;G03F7/20
申请日期：
2017-09-27
申请人：
信越化学工业株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	锍盐、抗蚀剂组合物和图案化方法
申请号	CN201710888351.4	申请日期	2017-09-27
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2018-04-03	公开/公告号	CN107870519A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/039 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕 G03F7/004 感光材料（G03F 7/12，G03F 7/14优先）〔5〕 G03F7/039 可光降解的高分子化合物，例如，正电子抗蚀剂（G03F 7/075优先；高分子苯醌重氮化合物入G03F 7/023）〔5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;0;3;9;;;G;0;3;F;7;/;0;3;8;;;G;0;3;F;7;/;0;0;4;;;G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人	信越化学工业株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	信越化学工业株式会社	当前权利人	信越化学工业株式会社
发明人	藤原敬之;大桥正树;谷口良辅
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	杜丽利

摘要

本发明为锍盐、抗蚀剂组合物和图案化方法。在使用特定结构的锍盐作为PAG时，抑制了酸扩散。在通过光刻法加工时，包括所述锍盐的抗蚀剂组合物形成具有改进的光刻性质(包括EL、MEF和LWR)的图案。

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