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一种微构件摩擦力测试仪

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN00264765.6
  • IPC分类号:--
  • 申请日期:
    2000-12-14
  • 申请人:
    中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
著录项信息
专利名称一种微构件摩擦力测试仪
申请号CN00264765.6申请日期2000-12-14
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号暂无IPC分类号暂无查看分类表>
申请人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请人地址
吉林省长春市人民大街140号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所当前权利人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
发明人吴一辉;鞠挥;贾宏光;郭占社;黎海文
代理机构中国科学院长春专利事务所代理人梁爱荣
摘要
本实用新型涉及一种对微机械构件进行摩擦力测量仪器的改进。它包括:减振工作台、摩擦力测试主体、光学显微镜及CCD系统、监视器、控制系统。本实用新型由于采用独特微悬臂和微探针进行测量,使微加工样片表面三维结构下的摩擦力得到真实反映,同时可以针对不同材料样片选用不同的微探针。由于微构件表面是由一定三维图形组成的立体结构,本实用新型对于在此种条件下的摩擦力测量提供一种简易而方便的解决办法,消除了由于微构件表面复杂三维结构而对摩擦力测量过程产生的影响,从而提供一种新型的微构件摩擦力测试仪。

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