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一种真空下多探针摩擦磨损测试及原位形貌探测系统

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510488002.4
  • IPC分类号:G01N3/56
  • 申请日期:
    2015-08-10
  • 申请人:
    西南交通大学
著录项信息
专利名称一种真空下多探针摩擦磨损测试及原位形貌探测系统
申请号CN201510488002.4申请日期2015-08-10
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2015-12-23公开/公告号CN105181501A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N3/56IPC分类号G;0;1;N;3;/;5;6查看分类表>
申请人西南交通大学申请人地址
四川省成都市二环路北一段111号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人西南交通大学当前权利人西南交通大学
发明人余丙军;张超杰;钱林茂;陈磊;高健;金晨宁
代理机构成都宏顺专利代理事务所(普通合伙)代理人周永宏;王伟
摘要
本发明公开了一种真空下多探针摩擦磨损测试及原位形貌探测系统,包括主体和外部手动驱动装置;所述主体包括腔体上盖、安装在腔体上盖上面用于密封的光窗顶盖和安装腔体上盖内部的多探针组件;其能在高真空下实现对具有不同功能的SPM针尖切换,使摩擦学测试及原位形貌探测在高真空环境下可相继完成,且原位定位精度较高。由于更换针尖时无须打开腔体,确保了实验样品不受外界因素干扰,使实验所得结果更为真实可信;不仅如此,也节省了实验前期设备调整校准时间,提高实验效率。

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