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一种大功率SiC衬底垂直结构发光管及其制备方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201010555083.2
  • IPC分类号:H01L33/02;H01L33/06;H01L33/44
  • 申请日期:
    2010-11-23
  • 申请人:
    吉林大学
著录项信息
专利名称一种大功率SiC衬底垂直结构发光管及其制备方法
申请号CN201010555083.2申请日期2010-11-23
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2011-05-18公开/公告号CN102064251A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L33/02IPC分类号H;0;1;L;3;3;/;0;2;;;H;0;1;L;3;3;/;0;6;;;H;0;1;L;3;3;/;4;4查看分类表>
申请人吉林大学申请人地址
吉林省长春市朝阳区前进大街2699号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人吉林大学当前权利人吉林大学
发明人杜国同;梁红伟;李国兴
代理机构长春吉大专利代理有限责任公司代理人张景林;刘喜生
摘要
本发明属于半导体发光器件及其制备技术领域,特别是涉及一类GaN基发光管及其制备方法。器件由衬底、衬底上外延生长的n型GaN缓冲层和下限制层2、GaN材料系多量子阱发光层3、p型GaN上限制层4、p型InGaN盖层5、上电极6、下电极7构成,特征在于:衬底是n型SiC单晶衬底,其80%~95%面积的衬底面即出光面被打毛粗化或图形化,电极7被制备在其余5%~20%面积的衬底1上,上电极6覆盖在盖层5上面,并制备成兼有反射镜功能。本发明利用SiC衬底晶格和GaN匹配较好,导电和导热性能都比较好,价格适中的优点,提供一种新型大功率SiC衬底垂直结构发光管及其制备方法。

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