抗蚀剂组合物

发明专利有效专利

申请号：
CN201980086276.7
IPC分类号：C08G8/18;C08G8/20;G03F7/023;G03F7/20
申请日期：
2019-11-26
申请人：
DIC株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	抗蚀剂组合物
申请号	CN201980086276.7	申请日期	2019-11-26
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-08-06	公开/公告号	CN113227181A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C08G8/18 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C08 有机高分子化合物；其制备或化学加工；以其为基料的组合物 C08G 用碳-碳不饱和键以外的反应得到的高分子化合物（发酵或使用酶的方法合成目标化合物或组合物或从外消旋混合物中分离旋光异构体入C12P）〔2〕 C08G8/00 醛或酮只与酚的缩聚物〔2〕 C08G8/04 醛的〔2〕 C08G8/08 甲醛的，例如在反应中就地生成的甲醛〔2〕 C08G8/18 与羧基或磺酸基取代的酚〔2〕	IPC分类号	C;0;8;G;8;/;1;8;;;C;0;8;G;8;/;2;0;;;G;0;3;F;7;/;0;2;3;;;G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人	DIC株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	DIC株式会社	当前权利人	DIC株式会社
发明人	今田知之;长田裕仁
代理机构	北京林达刘知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	刘新宇;李茂家

摘要

本发明的目的在于，提供具有高耐热性且可用于使用电子射线和极紫外线的光刻的抗蚀剂组合物。具体而言，使用包含酚醛清漆型酚醛树脂(C)的金属盐的抗蚀剂组合物，所述酚醛清漆型酚醛树脂(C)以下述式(1)所示的芳香族化合物(A)和脂肪族醛(B)作为必需的反应原料。(下述式(1)中，R1和R2各自独立地表示氢原子、碳原子数1～9的脂肪族烃基、烷氧基、芳基、芳烷基或卤素原子。m和n各自独立地表示0～4的整数。存在多个R1时，多个R1任选彼此相同或不同。存在多个R2时，多个R2任选彼此相同或不同。R3表示氢原子、碳原子数1～9的脂肪族烃基、或者在烃基上具有1个以上选自烷氧基、卤素基团和羟基中的取代基的结构部位。)

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