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成形模的表面处理方法和成形模,以及光学元件

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200410003363.7
  • IPC分类号:C03B11/06
  • 申请日期:
    2004-01-21
  • 申请人:
    奥林巴斯株式会社
著录项信息
专利名称成形模的表面处理方法和成形模,以及光学元件
申请号CN200410003363.7申请日期2004-01-21
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2004-09-01公开/公告号CN1524812
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C03B11/06IPC分类号C;0;3;B;1;1;/;0;6查看分类表>
申请人奥林巴斯株式会社申请人地址
日本东京 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人奥林巴斯株式会社当前权利人奥林巴斯株式会社
发明人日高猛
代理机构北京三友知识产权代理有限公司代理人王维宁
摘要
本发明涉及成形模的表面处理方法,成形模和由该成形模所成形的光学元件,这种方法不使用液体腐蚀来进行成形模的加工和翻新,而且不经过研磨工序就可以实现。首先,预先分别针对构成基体、中间层以及表面层的碳化钨(WC)、铬(Cr)以及氮化铬(CrN),除了离子束入射角以外,以与表面处理时相同的照射条件,求出离子束入射角与成形面内的刻蚀程度分布的关系。根据上述关系,以成形模控制角度γ作为参数,根据构成成形面的Cr和CrN的膜厚比例,算出从成形面的表面顶端到周边部位方向的刻蚀程度的分布。这样,就可以求出成形模控制角度γ与处理时间这两者的最佳组合条件,并按照这些条件进行刻蚀深度最适当的加工。

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