一种基于激光破坏样品的残余气体分析装置及方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110881193.6
IPC分类号：G01N1/28;G01N33/00
申请日期：
2021-08-02
申请人：
合肥工业大学

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著录项信息

专利名称	一种基于激光破坏样品的残余气体分析装置及方法
申请号	CN202110881193.6	申请日期	2021-08-02
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-11-05	公开/公告号	CN113607519A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N1/28 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N1/00 取样；制备测试用的样品（用于自动分析的材料处理入G01N 35/00） G01N1/28 测试用样品的制备（将样品安装在显微镜载片上入G02B 21/34；电子显微镜中支承被分析的物品或材料的装置入H01J 37/20）	IPC分类号	G;0;1;N;1;/;2;8;;;G;0;1;N;3;3;/;0;0查看分类表>
申请人	合肥工业大学	申请人地址	安徽省合肥市包河区屯溪路193号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	合肥工业大学	当前权利人	合肥工业大学
发明人	王旭迪;常仁超;毕海林;张俊;张殿伟;谢晶
代理机构	安徽省合肥新安专利代理有限责任公司	代理人	何梅生

摘要

本发明公开了一种基于激光破坏样品的残余气体分析装置，其包括样品室、分析室、全金属角阀、针阀、激光器、全量程真空计、冷阴极电离真空计、残余气体分析仪、分子泵组、带孔无氧铜板、氮气瓶、加热带、调压器、温度计、电源。本发明利用真空系统外置激光器破坏样品，具有准确、便捷、利于维持真空环境的优点。实验通过静态升压法和小孔流导法两种方法对待测样品内残余气体进行气量测试以及成分分析。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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