一种自适应调节腔长的多表面干涉测量方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110099724.6
IPC分类号：G01M11/02
申请日期：
2021-01-25
申请人：
上海大学

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著录项信息

专利名称	一种自适应调节腔长的多表面干涉测量方法
申请号	CN202110099724.6	申请日期	2021-01-25
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-06-01	公开/公告号	CN112880981A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01M11/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01M 机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试 G01M11/00 光学设备的测试；其他类目未包括的用光学方法测试结构部件 G01M11/02 光学性质的测试	IPC分类号	G;0;1;M;1;1;/;0;2查看分类表>
申请人	上海大学	申请人地址	上海市宝山区上大路99号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海大学	当前权利人	上海大学
发明人	常林;何婷婷;于瀛洁;闫恪涛;王陈;徐瞿磊;孙涛
代理机构	上海上大专利事务所（普通合伙）	代理人	何文欣

摘要

本发明公开了一种自适应调节腔长的多表面干涉测量方法，通过对可移动夹具、运动系统和和导轨系统进行设计，使得被测件通过本发明所设计的调整架进行夹持时，一方面通过夹具等部件可以实现被测件的夹紧，另一方面通过运动系统和导轨系统对被测件的腔长进行自适应调整，准确得到被测件腔长值。硬件部分主要包括：可移动夹具、运动系统和导轨系统。测量算法实现部分包括输入的写入、所需腔长值的计算和位置的移动、干涉图的采集和初始相位的解调。能够实现对多表面被测件的各表面一次性测量，无需涂抹消光材料，并可以自适应移动腔长位置，进一步降低测量成本。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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