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供体搬运装置、供体元件封装组合件及衬底处理系统

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201720338106.1
IPC分类号：H01L21/677;H01L21/67
申请日期：
2017-03-31
申请人：
奥宝科技有限公司;飞腾动力公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	供体搬运装置、供体元件封装组合件及衬底处理系统
申请号	CN201720338106.1	申请日期	2017-03-31
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/677 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕 H01L21/677 用于传送的，例如在不同的工作站之间〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;7;7;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人	奥宝科技有限公司;飞腾动力公司	申请人地址	以色列雅夫内城变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	奥宝科技有限公司	当前权利人	奥宝科技有限公司
发明人	E·沙皮拉;Z·哈卢扎;D·亚伯拉罕莫夫;E·贝尔拉德斯基;J·安克里;K·阮;N·阮;S·青地;余伯干;K·吉滕德拉
代理机构	北京律盟知识产权代理有限责任公司	代理人	齐杨

摘要

本实用新型涉及一种供体搬运装置、供体元件封装组合件及衬底处理系统。所述供体搬运装置包括：装置主体；可移动臂，其从所述装置主体延伸以用于在其上固持供体元件，所述供体元件提供用于沉积于目标上的材料；及以下各者中的至少一者：平台，其从所述装置主体延伸且经调适以在所述供体元件未使用时容置所述供体元件，及测量仪器，其用于测量所述装置主体与所述目标之间的距离。

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