超纯砷烷的分析方法及其装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201310580498.9
IPC分类号：G01N30/88
申请日期：
2013-11-19
申请人：
苏州丹百利电子材料有限公司

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著录项信息

专利名称	超纯砷烷的分析方法及其装置
申请号	CN201310580498.9	申请日期	2013-11-19
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-03-19	公开/公告号	CN103645269A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N30/88 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N30/00 利用吸附作用、吸收作用或类似现象，或者利用离子交换，例如色谱法将材料分离成各个组分，来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 29/00优先）〔4〕 G01N30/02 柱色谱法〔4〕 G01N30/88 不能为G01N 30/04至G01N 30/86组中单独一个组所包括的、相应专用的综合分析系统〔4〕	IPC分类号	G;0;1;N;3;0;/;8;8查看分类表>
申请人	苏州丹百利电子材料有限公司	申请人地址	安徽省滁州市全椒县十字镇十谭工业园变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	全椒南大光电材料有限公司	当前权利人	全椒南大光电材料有限公司
发明人	李英辉;朱颜;王陆平;马潇;许从应;王仕华;王智
代理机构	江苏圣典律师事务所	代理人	王玉国

摘要

本发明涉及超纯砷烷的分析方法及装置，首先，取样：采用负压进样、静态分析方式，通过分子泵机组将定量管抽空至1×10-4～1×10-7Pa，并伴随氦气吹扫、负压置换，将氧、氮真空本底降至10ppb以下，然后将超纯砷烷充入定量管至零表压进样分析；然后，分离痕量杂质：将上述取样后的待测样品气用20～50mL/min流速的载气送入经防腐防吸附处理过的分离系统进行分离痕量杂质；最后，检测：将上述经过分离痕量杂质的待测样品气输入检测器得出分析结果。超纯砷烷中的痕量杂质得以分离，由直流放电氦离子化检测器（DID）分析杂质气体；安全、稳定，能在很短的时间内给出平衡的分析值、定量准确、检测限低及分析周期短。

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