三氟化氮气体的纯化方法

发明专利有效专利

申请号：
CN200510085395.0
IPC分类号：C01B21/083;C01B9/08
申请日期：
2005-07-27
申请人：
中国船舶重工集团公司第七一八研究所

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引证文献

著录项信息

专利名称	三氟化氮气体的纯化方法
申请号	CN200510085395.0	申请日期	2005-07-27
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2006-02-01	公开/公告号	CN1727279
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C01B21/083 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C01 无机化学 C01B 非金属元素；其化合物（制备元素或二氧化碳以外无机化合物的发酵或用酶工艺入C12P 3/00；用电解法或电泳法生产非金属元素或无机化合物入C25B） C01B21/00 氮；其化合物 C01B21/082 含氮和非金属的化合物（C01B 21/06、C01B 21/08优先）〔3〕 C01B21/083 含有1个或多个卤素原子〔3〕	IPC分类号	C;0;1;B;2;1;/;0;8;3;;;C;0;1;B;9;/;0;8查看分类表>
申请人	中国船舶重工集团公司第七一八研究所	申请人地址	河北省邯郸市展览路17号袁晓燕变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	派瑞科技有限公司	当前权利人	派瑞科技有限公司
发明人	付嫚;李本东;隋希平
代理机构	邯郸市久天专利事务所	代理人	郭恒斌

摘要

本发明涉及一种去除三氟化氮(NF3)气体中N2F2杂质的方法。以电解法制备的NF3气体含有0.1～2%的N2F2杂质气体，N2F2很不稳定，在高温下很容易分解。本发明利用其高温分解的特性，将一个装有铁、不锈钢、铜、镍、蒙乃尔或上述一种以上金属填料的裂解塔加热到100～400℃后通入含有N2F2杂质的NF3气体，使N2F2杂质分解去除。本发明方法能够很安全、有效地去除N2F2杂质而又不引起NF3气体的大量分解。

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