用于化学机械抛光的浆料组合物

发明专利有效专利

申请号：
CN201780030849.5
IPC分类号：C09G1/02;C09K3/14;H01L21/321;H01L21/304;B01J23/74
申请日期：
2017-05-17
申请人：
东进世美肯株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	用于化学机械抛光的浆料组合物
申请号	CN201780030849.5	申请日期	2017-05-17
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-01-04	公开/公告号	CN109153889A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C09G1/02 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C09 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用 C09G 虫胶清漆除外的抛光组合物；滑雪屐蜡 C09G1/00 抛光组合物（虫胶清漆入C09F 11/00；洗涤剂入C11D） C09G1/02 含有磨料或研磨剂	IPC分类号	C;0;9;G;1;/;0;2;;;C;0;9;K;3;/;1;4;;;H;0;1;L;2;1;/;3;2;1;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;4;;;B;0;1;J;2;3;/;7;4查看分类表>
申请人	东进世美肯株式会社	申请人地址	韩国仁川变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东进世美肯株式会社	当前权利人	东进世美肯株式会社
发明人	朴惠贞;金宰贤;朴锺大;李敏键;申宗哲;陈成勋
代理机构	北京集佳知识产权代理有限公司	代理人	蔡胜有;郑毅

摘要

公开了一种用于化学机械抛光的浆料组合物，该组合物表现出在酸性气氛下pH随时间的变化小，从而可易于长期储存。用于化学机械抛光的浆料组合物包含磨料、0.000006重量％至0.01重量％的铝、和水。优选的是，磨料的表面上的硅烷醇基团的数量和铝含量满足以下数学式的要求。[数学式1]0.0005≤(S*C)*100≤4.5，其中S是1nm2的磨料表面上存在的硅烷醇基团的数量(单位：个/nm2)，以及C是浆料组合物中的铝含量(重量％)。

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