多镜面透镜组镜面间距的低相干光干涉测量方法和装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201810868921.8
IPC分类号：G01B11/14
申请日期：
2018-08-02
申请人：
淮阴师范学院

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著录项信息

专利名称	多镜面透镜组镜面间距的低相干光干涉测量方法和装置
申请号	CN201810868921.8	申请日期	2018-08-02
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2018-11-06	公开/公告号	CN108759698A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/14 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/14 用于计量相隔的物体或孔的间距或间隙（G01B 11/26优先；测距仪本身入G01C 3/00）	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;1;4查看分类表>
申请人	淮阴师范学院	申请人地址	江苏省淮安市长江西路111号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	淮阴师范学院	当前权利人	淮阴师范学院
发明人	刘经佑;雷枫
代理机构	北京捷诚信通专利事务所（普通合伙）	代理人	王卫东

摘要

本发明公开了一种多镜面透镜组镜面间距的低相干光干涉测量方法和装置，其中方法包括：产生第一、第二两低相干光；在第一光路上放置楔形棱镜组，由楔角相同的第一楔形棱镜和第二楔形棱镜组成；在所述第二光路上放置光学平板和被测多镜面透镜组；调整好被测透镜组至适当位置后，沿楔角的棱面连续移动第二楔形棱镜，使得被测透镜组各镜面的反射光依次与所述第二楔形棱镜的楔角的另一棱面的反射光，在CCD相机接收面上产成干涉条纹，根据所述第二楔形棱镜移动过程中，产生相邻两次干涉条纹的位置读数，计算得到被测多镜面透镜组中心轴上相邻镜面间距。本发明，实现了对多镜面透镜组的镜面间距的非接触无损伤测量，反应灵敏，测量精度高。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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