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半导体制造用自动化物料运输系统

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200510111678.8
  • IPC分类号:H01L21/677;B65G49/07
  • 申请日期:
    2005-12-19
  • 申请人:
    中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
著录项信息
专利名称半导体制造用自动化物料运输系统
申请号CN200510111678.8申请日期2005-12-19
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2007-06-27公开/公告号CN1988125
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/677IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;7;;;B;6;5;G;4;9;/;0;7查看分类表>
申请人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请人地址
变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司当前权利人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
发明人赵增利;郭延中;马魁武;丁江波
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人逯长明
摘要
本发明提供了一种半导体制造用自动化物料运输系统,包括:至少一个储料箱,每个储料箱至少包含一个储料单元;以及输送机构,所述输送机构其至少包括一个在屋顶的轨道上运行的空中运输车,所述空中运输车至少包含一个机械臂,所述机械臂从选择的储料单元中拾取至少一组物料,并随后输送到预定位置,所述储料箱的高度为屋顶到地板距离的三分之一到二分之一。本发明的自动化物料运输系统节省了FAB内的立体空间,为其它设备的摆放提供了空间,方便了操作人员在工位之间的移动,而且储料箱自身也便于移动。

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