一种实现均匀压印的纳米压印设备

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201720471306.4
IPC分类号：G03F7/00
申请日期：
2017-05-01
申请人：
青岛天仁微纳科技有限责任公司

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专利名称	一种实现均匀压印的纳米压印设备
申请号	CN201720471306.4	申请日期	2017-05-01
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;0;0查看分类表>
申请人	青岛天仁微纳科技有限责任公司	申请人地址	山东省青岛市城阳区长城路89号青岛博士创业园21A号楼407、408室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	青岛天仁微纳科技有限责任公司	当前权利人	青岛天仁微纳科技有限责任公司
发明人	冀然
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本实用新型公开了一种实现均匀压印的纳米压印设备，包括中央控制单元、放置模板或基板的托板、中间安装有透明模板的承压板，所述透明模板的上方设有紫外线照射灯，所述承压板置于所述托板的上方，所述托板的侧面安装有不少于三个支撑板，支撑板的端面和托板的端面平行，所述承压板的侧面安装有和支撑板相对应设置的直线位移传感器，所述托板的底部安装有不少于三个用于带动所述托板做上下往复移动的上下移动装置，所述上下移动装置和所述支撑板对应设置；相对于现有技术，本实用新型保证了承压板和托板之间的距离始终一致，实现均匀压印。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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