具有抗等离子涂层的高功率低压紫外线灯泡

发明专利有效专利

申请号：
CN201780080124.7
IPC分类号：H01J61/20;H01J61/30
申请日期：
2017-12-12
申请人：
朗姆研究公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	具有抗等离子涂层的高功率低压紫外线灯泡
申请号	CN201780080124.7	申请日期	2017-12-12
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2019-08-09	公开/公告号	CN110114852A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J61/20 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J61/00 气体或蒸气放电灯（有消耗电极的弧光灯入H05B；场致发光灯入H05B） H01J61/02 零部件 H01J61/12 充气物质的选择；特定的工作压强或温度 H01J61/18 由金属蒸气为主要成分的 H01J61/20 水银蒸气	IPC分类号	H;0;1;J;6;1;/;2;0;;;H;0;1;J;6;1;/;3;0查看分类表>
申请人	朗姆研究公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	朗姆研究公司	当前权利人	朗姆研究公司
发明人	陈晓澜;马修·穆卓尔;柯蒂斯·贝利;史蒂芬·劳;米切尔·拉马尔
代理机构	上海胜康律师事务所	代理人	李献忠;张静

摘要

紫外线(UV)灯泡的外壳包括UV透射材料管，其配置成在管的内表面上包含UV发光材料和抗等离子涂层，其中涂层已经通过原子层沉积(ALD)沉积并且是唯一附着在管的内表面的材料。管可以是具有圆形形状的环形管并且涂层可以是ALD氧化铝涂层。UV透射材料可包括石英或熔融二氧化硅并且管可具有约1至约2mm的壁厚。涂层可具有不大于约200nm(如约120nm至160nm)的厚度。圆形管可形成圆环形状，其可以具有约200mm的外径并且管本身可具有约30mm的外径。ALD氧化铝涂层可以是无针孔的保形涂层。包括外壳的UV灯泡可含有汞和惰性气体，如氩气，其中UV灯泡内的压强低于100托。一种在半导体衬底上固化膜的方法，其包括将半导体衬底支撑在固化室中并将半导体衬底上的层暴露于由UV灯泡产生的UV辐射。其他用途包含半导体衬底表面清洁或对流体和物体的灭菌。

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