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一种用于微小样品的六轴力学性能测量装置

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN03237264.7
  • IPC分类号:--
  • 申请日期:
    2003-09-02
  • 申请人:
    华中科技大学
著录项信息
专利名称一种用于微小样品的六轴力学性能测量装置
申请号CN03237264.7申请日期2003-09-02
法律状态放弃专利权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号暂无IPC分类号暂无查看分类表>
申请人华中科技大学申请人地址
湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人华中科技大学当前权利人华中科技大学
发明人王志勇;刘胜;张鸿海;史铁林;汪海英;汪学方;朱福龙;贺德建
代理机构华中科技大学专利中心代理人曹葆青
摘要
本实用新型针对传统的力学试验机不能满足微机械(MEMS)等微小样品的测试需要,研究开发了一种用于微小样品的六轴力学性能测量装置,它包括精密六轴数控工作台、六轴测力传感器、加温箱和计算机控制系统。六轴数控工作台由一个永磁式直线电机和5个直流电机驱动。本装置可完成对微小样品的力学特性、机械行为和热-机特性测试。在Z向上使用PZT工作台或者电磁式激振器配合直线电机,可实现10-500Hz的动态加载频率;以及采用光学逆相散射法,直接测量微小样品面内与离面的三维变形,以消除工作台刚性引起的误差。

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