光敏苯并环丁烯树脂组合物及制备方法以及其图案化方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201110458147.1
IPC分类号：--
申请日期：
2011-12-31
申请人：
复旦大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	光敏苯并环丁烯树脂组合物及制备方法以及其图案化方法
申请号	CN201110458147.1	申请日期	2011-12-31
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2012-06-27	公开/公告号	CN102520584A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	复旦大学	申请人地址	上海市杨浦区邯郸路220号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	复旦大学	当前权利人	复旦大学
发明人	杨军;肖斐;奚嘉;亓恬珂;叶晓通
代理机构	上海晨皓知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	卢刚

摘要

本发明公开了一种光敏苯并环丁烯树脂组合物，包括苯并环丁烯树脂、光敏剂及有机溶剂，从而具有感光性，且其成膜性好，耐热性好；还公开了一种光敏苯并环丁烯树脂组合物的制备方法，通过将苯并环丁烯树脂加入至有机溶剂中，搅拌至完全溶解；在完全溶解后的苯并环丁烯树脂与有机溶剂的混合溶液中加入光敏剂，并在紫外屏蔽条件下搅拌，从而得到负性光敏苯并环丁烯树脂组合物，该方法简单方便；还公开了一种上述树脂组合物的图案化方法，通过在一涂膜基材上旋转涂敷光敏苯并环丁烯树脂组合物，之后依次经过前烘、曝光、显影、固化，得到具有机械强度的图案化光敏苯并环丁烯树脂，该方法不需使用光刻胶，简单方便，且大大降低成本。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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