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一种光刻机投影物镜微调平机构

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201110095516.5
  • IPC分类号:G03F7/20;G02B7/02
  • 申请日期:
    2011-04-15
  • 申请人:
    中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
著录项信息
专利名称一种光刻机投影物镜微调平机构
申请号CN201110095516.5申请日期2011-04-15
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2011-08-03公开/公告号CN102141741A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0;;;G;0;2;B;7;/;0;2查看分类表>
申请人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请人地址
吉林省长春市东南湖大路3888号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所当前权利人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
发明人向阳;齐克奇
代理机构长春菁华专利商标代理事务所代理人南小平
摘要
一种光刻机投影物镜微调平机构涉及投影光刻技术领域,该机构主要由安装基板、三个支撑调整杠杆机构、安装件和固定件构成,每个支撑调整杠杆机构由杠杆安装底座、调节杠杆、调整螺钉、轴、轴端盖、预紧弹簧和调整螺母等构成;支撑调整杠杆机构通过固定件将杠杆安装底座与安装基板固定,并通过安装件将物镜法兰和调节杠杆前端连接。本发明的有益效果是:该微调平机构采用三点支撑方式均匀分布在物镜边缘,通过支撑调整杠杆机构不仅可以提高螺纹调节的精度,还可以减小螺纹上所承受的载荷,并且可以根据不同的精度要求来设定杠杆的放大系数。

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