三维光子晶体的四质量光机电三轴陀螺仪及其加工方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110638234.9
IPC分类号：G01C19/5691
申请日期：
2021-06-08
申请人：
王辛望

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专利名称	三维光子晶体的四质量光机电三轴陀螺仪及其加工方法
申请号	CN202110638234.9	申请日期	2021-06-08
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-10-29	公开/公告号	CN113566804A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01C19/5691 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01C 测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学（液体水平面的测量入G01F；无线电导航，通过利用无线电波的传播效应，例如多普勒效应，传播时间来测定距离或速度，利用其他波的类似装置入G01S） G01C19/00 陀螺仪；使用振动部件的转动敏感装置；不带有运动部件的转动敏感装置；使用陀螺效应测量角速率〔1，2013.01〕 G01C19/56 使用振动部件的转动敏感装置，例如基于科里奥利力的振动角速度传感器〔1，2012.01〕 G01C19/567 利用振动节点或波腹的相位移动〔2012.01〕 G01C19/5691 本质上的三维振动器，如酒杯型振动器〔2012.01〕	IPC分类号	G;0;1;C;1;9;/;5;6;9;1查看分类表>
申请人	王辛望	申请人地址	江苏省南京市玄武区太平北路122号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	王辛望	当前权利人	王辛望
发明人	王辛望;崔颖;孙秀英
代理机构	南京众联专利代理有限公司	代理人	许小莉

摘要

本发明公开了一种三维光子晶体的四质量光机电三轴陀螺仪及其加工方法，该陀螺仪由由上至下依次包括玻璃盖帽、器件层和玻璃衬底，玻璃盖帽和玻璃衬底与器件层通过阳极键合；器件层包括支撑外框架、位于所述支撑外框架中心的中心质量块、四个公共质量块、将所述四个公共质量块与支撑外框架连接的驱动梁，中心驱动质量块的四周和四个公共质量块的上部和下部都分别设置驱动梳齿，四个公共质量块的四周与驱动梳齿之间通过谐振梁牵引，四个公共质量块靠近支撑外框架的一侧两边分别通过谐振梁连接Z轴机械结构检测模块梳齿结构，四个公共质量块的上部和下部分别覆盖有三维光子晶体结构层；本发明在单个器件内实现了对三轴的角速度的测量，结构简单。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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