一种非线性坐标校正方法

1.一种非线性坐标校正方法，其特征在于，所述方法包括步骤：
在X-Y平台的X方向导轨上设置一个在X方向导轨上可来回移动且镜头垂直向下拍摄的相机；
在X-Y平台的载物台上设置圆黑点的点阵，建立与X-Y平台具有共同原点的标准坐标；
X-Y平台依据建立的标准坐标进行走位，使黑圆点能被相机拍摄到，由相机采用光学中心逼近法测量出每个黑圆点对应在X-Y平台中的机器坐标，建立每个黑圆点的标准坐标与机器坐标之间的对应关系表；
通过双线性插值得到X-Y平台中任何一点的机器坐标与标准坐标之间的换算公式；
在X-Y平台中任意点的机器坐标，通过上述换算公式换算出对应的标准坐标，实现对机器坐标的校正。
2.根据权利要求1所述的一种非线性坐标校正方法，其特征在于，在载物台上放置一块透明材质的标定板，并在标定板上建立所述标准坐标。
3.根据权利要求2所述的一种非线性坐标校正方法，其特征在于，以标定板上的其中一个圆黑点作为标准坐标和机器坐标的共同原点。
4.根据权利要求2所述的一种非线性坐标校正方法，其特征在于，标定板为玻璃或透明树脂材料制成。
5.根据权利要求1所述的一种非线性坐标校正方法，其特征在于，所述光学逼近法包括步骤：
选取相机的镜头视野中的一个目标黑圆点作为逼近的目标；
将相机拍摄的图像传入与相机连接的计算机进行处理，求得镜头视野中心和目标黑圆点中心的坐标差；
将坐标差传输给X-Y平台的执行机构，以此获得X-Y平台下次逼近走位的机器坐标；
循环往复上述步骤，直到圆黑点中心与镜头视野中心重合。
6.根据权利要求1所述的一种非线性坐标校正方法，其特征在于，位于相邻4个黑圆点构成的网格中的点，通过对每个网格进行双线性插值得到该点标准坐标对应的机器坐标。

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