离子供应系统和控制离子供应系统的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201811561929.6
IPC分类号：H01J49/02;H01J49/06
申请日期：
2018-12-20
申请人：
塞莫费雪科学(不来梅)有限公司

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著录项信息

专利名称	离子供应系统和控制离子供应系统的方法
申请号	CN201811561929.6	申请日期	2018-12-20
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-06-28	公开/公告号	CN109950123A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J49/02 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J49/00 粒子分光仪或粒子分离管〔3〕 H01J49/02 零部件〔3〕	IPC分类号	H;0;1;J;4;9;/;0;2;;;H;0;1;J;4;9;/;0;6查看分类表>
申请人	塞莫费雪科学(不来梅)有限公司	申请人地址	德国不来梅变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	塞莫费雪科学(不来梅)有限公司	当前权利人	塞莫费雪科学(不来梅)有限公司
发明人	A·C·彼德森;D·切尔内绍夫;J-P·豪斯切德;E·考金
代理机构	上海专利商标事务所有限公司	代理人	陈洁;姬利永

摘要

离子供应系统包括将离子发射到前真空室中的离子源，布置在前真空室中的具有堆叠电极的离子传输装置，向离子传输装置的电极提供振荡电压的控制系统，和真空室，其布置在离子传输装置的下游。在布置在离子传输装置的下游的真空室中的是真空计。真空计的压力信号被提供给控制系统，该控制系统将振荡电压提供给离子传输装置的电极。控制系统以振幅向离子传输装置的电极提供振荡电压，该振幅与真空计200的压力信号相关。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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