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共焦组合超长焦距测量方法与装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200810226967.6
  • IPC分类号:G01M11/02
  • 申请日期:
    2008-11-21
  • 申请人:
    北京理工大学
著录项信息
专利名称共焦组合超长焦距测量方法与装置
申请号CN200810226967.6申请日期2008-11-21
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2009-04-15公开/公告号CN101408478
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01M11/02IPC分类号G;0;1;M;1;1;/;0;2查看分类表>
申请人北京理工大学申请人地址
北京市海淀区中关村南大街5号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京理工大学当前权利人北京理工大学
发明人赵维谦;邱丽荣;孙若端;沙定国
代理机构北京理工大学专利中心代理人张利萍
摘要
本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种共焦组合透镜超长焦距测量方法与装置。该方法首先通过共焦定焦原理确定参考透镜焦点位置、被测透镜与参考透镜组合的焦点位置,而后测量两焦点间的距离Δ和两透镜的间距d0,代入公式计算被测透镜的焦距值,测量过程中还可以通过光瞳滤波技术提高焦距测量灵敏度。本发明首次提出利用共焦响应曲线极大值时目标对应显微物镜焦点的特性实现精确定焦,将共焦显微原理扩展到超长焦距测量领域,提出了共焦定焦原理。本发明融合了共焦定焦原理与组合透镜法,具有测量精度高、抗环境干扰能力强的优点,可用于超长焦距透镜的检测与装配过程中的高精度焦距测量。

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