在激光再封闭时通过升高温度所实现的应力减小

发明专利有效专利

申请号：
CN201680071569.4
IPC分类号：B81C1/00
申请日期：
2016-10-12
申请人：
罗伯特·博世有限公司

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著录项信息

专利名称	在激光再封闭时通过升高温度所实现的应力减小
申请号	CN201680071569.4	申请日期	2016-10-12
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2018-08-03	公开/公告号	CN108367911A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B81C1/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B8 微观结构技术；纳米技术 B81 微观结构技术〔7〕 B81C 专门适用于制造或处理微观结构装置或系统的方法或设备（制造微胶囊或微球入B01J13/02；专门适用于制造或处理压电器件、电致伸缩器件或磁致伸缩器件的方法或设备本身入H01L41/22）〔7〕 B81C1/00 在基片内或其上制造或处理的装置或系统（B81C 3/00优先）〔7〕	IPC分类号	B;8;1;C;1;/;0;0查看分类表>
申请人	罗伯特·博世有限公司	申请人地址	德国斯图加特变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	罗伯特·博世有限公司	当前权利人	罗伯特·博世有限公司
发明人	P·卡佩;M·阿梅托沃布拉;J·阿姆托尔
代理机构	永新专利商标代理有限公司	代理人	侯鸣慧

摘要

本发明提出用于制造微机械结构元件的方法，所述微机械结构元件具有衬底和与衬底连接且与衬底包围第一空穴的罩，在第一空穴中存在第一压力且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，其中，在第一方法步骤中，在衬底或罩中构造连接第一空穴与微机械结构元件周围环境的进入开口，其中，第二方法步骤中，设定第一空穴中的第一压力和/或第一化学组分，其中，在第三方法步骤中，通过借助于激光将能量引入到衬底或罩的吸收部分中来封闭进入开口，其中，在第四方法步骤中，实施衬底或罩的热处理以减小在衬底或罩中的温度梯度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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