翻转式晶圆自动传输装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN200920010069.7
IPC分类号：H01L21/677
申请日期：
2009-01-09
申请人：
富创得科技（沈阳）有限公司

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著录项信息

专利名称	翻转式晶圆自动传输装置
申请号	CN200920010069.7	申请日期	2009-01-09
法律状态	放弃专利权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/677 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕 H01L21/677 用于传送的，例如在不同的工作站之间〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;7;7查看分类表>
申请人	富创得科技（沈阳）有限公司	申请人地址	辽宁省沈阳市浑南新区飞云路18号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	富创得科技（沈阳）有限公司	当前权利人	富创得科技（沈阳）有限公司
发明人	吴功
代理机构	沈阳科威专利代理有限责任公司	代理人	刁佩德

摘要

一种翻转式晶圆自动传输装置，它克服了现有技术无法在制程的狭小空间作复杂动作等缺点，包括机架、上料平台、风箱体和手臂机构，其技术要点是：手臂机构的下手臂通过翻转机构连接抓取机构，抓取机构的固定板通过翻转轴铰接在翻转基座上，抓取机构的抓取电机通过涡轮蜗杆驱动抓取连杆带动夹爪沿抓取滑轨往复移动，抓取机构上的定位机构设置可调定位块。该装置结构设计合理，在制程间传输运行平稳，动作更灵活可靠，拓展了适用范围，使之能实现晶圆匣在0－90度范围翻转，且随意设定倾斜角度，以完成晶圆水平或垂直状态的自动传输，同时又能适应在制程设备狭小空间作更复杂动作，并在遇到外界干涉时可挠性停止，达到精确控制的传输效果。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

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